PSG5xx-enhet for området av atmosfærisk trykk opp til
Det svært kompakte Pirani-måleinstrumentet gir svært pålitelige målinger i området fra 5 E-4 mbar til atmosfære.
Pirani-standardmåleinstrumentene PSG500, PSG502-S, PSG510-S og PSG512-S fra INFICON er utstyrt med den mest avanserte Pirani-digitalteknologien som er tilgjengelig på markedet. Den robuste sensorcellen i rustfritt stål og det kompakte designet er ideelt for bruk i halvlederanlegg og for standardapplikasjoner som for eksempel forvakuumledninger.
Ytelse
• Enkel justering av ATM og HV via trykknapper
• Plassbesparende, robust design
• Aluminiumshus
• Montering i hvilken som helst posisjon
• Målecelle i rustfritt stål med metallforseglet gjennomføring
• Logaritmisk signalutgang for enkel integrasjon
• 10 bar absolutt overtrykk med gjengeforbindelser
• Versjon som kan varmes opp til 250 °C
• Valgfri utførelse med nikkelfilament for korrosive applikasjoner
• Keramisk gjennomføring for ekstremt korrosive applikasjoner (PSG510 og PSG512)